電子顯微鏡和光學顯微鏡的區別主要有以下四點:
一、光源不同
光學顯微鏡采用可見光作為光源,電子顯微鏡采用電子束作為光源。
二、成像原理不同
光學顯微鏡利用幾何光學成像原理進行成像,電子顯微鏡利用高能量電子束轟擊樣品表麵,激發出樣品表麵的各種物理信號,再利用不同的信號探測器接受物理信號轉換成圖像信息。
三、分辨率不同
光學顯微鏡因為光的幹涉與衍射作用,分辨率隻能局限於0.2-0.5um之間。電子顯微鏡因為采用電子束作為光源,其分辨率可達到1-3nm之間,因此光學顯微鏡的組織觀察屬於微米級分析,電子顯微鏡的組織觀測屬於納米級分析。
四、景深不同
一般光學顯微鏡的景深在2-3um之間,因此對樣品的表麵光滑程度具有極高的要求,所以製樣過程相對比較複雜。電子顯微鏡電鏡的景深則可高達幾個毫米,因此對樣品表麵的光滑程度幾何沒有任何要求,樣品製備比較簡單。有些樣品幾乎無需製樣,體式顯微鏡雖然也具有比 較大的景深。