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1340萬！南京大學意向采購原子力顯微鏡、掃描電鏡等 - 分析行業必一体育sport网页版登录

返回列表 來源：Bsports必一体育顯微鏡 發布日期：2023-01-23 16:07【大 中 小】
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　　近日，南京大學公布2022年11至12月政府采購意向，其中意向采購聚焦離子束係統、原子力顯微鏡和高分辨掃描電子顯微鏡與陰極熒光係統，總預算金額1340萬元人民幣。


采購單位采購項目采購品目采購需求概況預算金額預計
名稱(萬元)采購日期
南京大學原子力顯微鏡A02100301 顯微鏡采購原子力顯微鏡1台，要求具備樣品表麵形貌的原子力掃描成像功能，主要用於半導體材料與器件形貌的表征。通過探針針尖的原子力作用掃描樣品表麵，獲得包括高度、力學、電學和粗糙度等信息。 設備主要由以下幾部分組成：測試主機、顯微係統、控製主機、控製係統與軟件、配套附件等。 具備多種工作模式：包括但是不限於 接觸模式；輕敲模式；自動掃描模式；磁力顯微鏡；橫向力顯微鏡；相位成像。具備大範圍的樣品水平掃描能力；具備大範圍的Z軸掃描能力，具有智能自動進針方式，附帶正版操作係統與軟件，可放置樣品*大支持8寸，向下兼容，具備高分辨同軸直視光學係統：在操作原子力顯微鏡的同時，可獲得光學圖像；配備主動電磁式防震平台， 隨設備提供滿足設備質保期內正常使用的常用備件與耗材，包括用於8英寸及以下尺寸晶圓和不規則小片的托盤和夾具等。 質保期：自設備驗收之日起至少1年，質保期內提供全免費保修。在質保期滿後繼續提供技術支持。 交貨地點：南京大學仙林校區。 售後服務響應要求：供應商必須保證快速的服務響應，得到通知後，應在4小時內提供技術支持。需要上門服務的，應在72小時內趕到現場。 培訓要求：設備及其中的重要部件應附帶使用手冊。設備安裝、調試、驗收完成後，供應商對采購人的設備管理、維護人員進行免費培訓，包括軟件、硬件的操作和日常維護、典型應用工藝。2002022年12月
南京大學聚焦離子束係統A02100305 電子光學及離子光學儀器采購聚焦離子束係統1台，具備樣品表麵形貌的掃描電子顯微成像功能和聚焦離子束加工能力，主要用於半導體材料與器件形貌的表征，TEM製樣和圖形定製。通過高分辨的掃描電子圖像，獲得包括高度、材料、電學和粗糙度等信息。搭配離子束源加工係統，能夠對樣品進行圖形加工。搭配能譜儀EDS，能夠實現掃描圖像與元素分析的對應關係。具備液態 Ga 離子源，電子槍類型為肖特基場發射燈絲；配備獨立二次電子探測器，配備鏡筒內獨立二次電子探測器；配備CCD 相機係統；可實現二次電子信號與背散射信號同時成像；擁有至少1支獨立的單氣體注入係統，全無油真空係統；配備 UPS 電源係統。配置操作係統，至少兩台 24” LCD 顯示器；帶有旋鈕控製麵板鍵盤、鼠標, 控製樣品台的遙感操作係統。配置能譜儀EDS一套，配置主動式減震台一套，包括用於6英寸及以下尺寸晶圓和不規則小片的托盤和夾具等。質保期：自設備驗收之日起至少1年，質保期內提供全免費保修。在質保期滿後繼續提供技術支持。 交貨地點：南京大學仙林校區。售後服務響應要求：供應商必須保證快速的服務響應，得到通知後，應在4小時內提供技術支持。需要上門服務的，應在72小時內趕到現場。 培訓要求：設備及其中的重要部件應附帶使用手冊。設備安裝、調試、驗收完成後，供應商對采購人的設備管理、維護人員進行免費培訓，包括軟件、硬件的操作和日常維護、典型應用工藝。6502022年12月
南京大學高分辨掃描電子顯微鏡與陰極熒光係統A02100301 顯微鏡采購高分辨掃描電子顯微鏡與陰極熒光係統1套，具備樣品表麵形貌的掃描電子顯微成像功能，用於半導體材料與器件形貌的表征。通過高分辨的掃描電子圖像，獲得包括高度、材料、電學和粗糙度等信息。能夠實現二次電子成像；搭配陰極熒光測試係統，能夠對樣品的發光性能進行分析表征。能夠實現掃描圖像與陰極熒光光譜的對應。 具備低電壓配備電子束減速模式，配置樣品電流監視器，無油機械泵，磁懸浮渦輪分子泵和離子泵。至少2台24”LCD顯示器，計算機係統附帶專業Windows 操作係統，預留光電關聯接口。配置陰極熒光光譜儀探測器一套 配置主動減震台，配置液氮冷凍裝置 一套，隨設備提供滿足設備質保期內正常使用的常用備件與耗材，包括用於6英寸及以下尺寸晶圓和不規則小片的托盤和夾具等。質保期：自設備驗收之日起至少1年，質保期內提供全免費保修。交貨地點：南京大學仙林校區。 供應商必須保證快速的服務響應，得到通知後，應在4小時內提供技術支持。需要上門服務的，應在72小時內趕到現場。設備及其中的重要部件應附帶使用手冊。設備安裝、調試、驗收完成後，供應商對采購人的設備管理、維護人員進行免費培訓，包括軟件、硬件的操作和日常維護、典型應用工藝。4902022年12月


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